Abstract

ROUXINOL, F. Paulo; TRASFERETTI, B. Cláudio; LANDERS, Richard  and  MORAES, Mário A. Bica de. Hot-filament metal oxide deposition (HFMOD): a novel method for depositing thin films of metallic oxides. J. Braz. Chem. Soc. [online]. 2004, vol.15, n.2, pp. 324-326. ISSN 0103-5053.  http://dx.doi.org/10.1590/S0103-50532004000200026.

O presente artigo descreve um novo método para a síntese de filmes finos de óxidos metálicos. Um filamento de metal, que pode ser aquecido por uma fonte de corrente alternada é instalado numa câmara de vácuo. Por meio de um fluxômetro de massa, oxigênio pode ser admitido no interior da câmara. Da reação entre o oxigênio e o metal do filamento aquecido, espécies de óxidos voláteis Me_xO_y, onde Me é o metal, são formadas, se condensando num substrato colocado próximo ao filamento, formando o filme. Foi observado que os filmes finos de W_xO_y e Mo_xO_y podem ser depositados de forma satisfatória por este novo método. Embora várias outras técnicas de análise tenham sido usadas para caracterizar os óxidos, esta nota enfatiza os resultados obtidos por espectroscopia de fotoelétrons de raio-X (XPS).

Keywords : WO₃; MoO₃; thin films; XPS; CVD.