Abstract

FUJIY, Oswaldo Kazushi et al. Taxa de crescimento de filmes de diamante CVD em superfícies de molibdênio. Rem: Rev. Esc. Minas [online]. 2007, vol.60, n.2, pp. 227-231. ISSN 0370-4467.  http://dx.doi.org/10.1590/S0370-44672007000200004.

O preparo dos substratos, para o crescimento de filmes de diamante CVD, é de fundamental importância por diversos fatores. Um novo método de preparação dos substratos de molibdênio, o jateamento por óxido de alumínio, é apresentado e comparado com os métodos tradicionais de preparo. As amostras de diamante CVD obtidas foram analisadas por espectroscopia de espalhamento RAMAN e por microscopia eletrônica de varredura (MEV). Obtiveram-se filmes de diamante CVD de boa qualidade e uniformidade e o novo processo proposto de tratamento do substrato de molibdênio permitiu maior taxa de crescimento que os métodos tradicionais.

Keywords : Diamante CVD; substrato de molibdênio; taxa de crescimento.