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Matéria (Rio de Janeiro)

versão On-line ISSN 1517-7076

Resumo

REIS, R. F. dos  e  NEIDERT, R.. Influência da limpeza prévia por sputtering na nitretação por plasma de aços inoxidáveis. Matéria (Rio J.) [online]. 2011, vol.16, n.2, pp. 683-689. ISSN 1517-7076.  http://dx.doi.org/10.1590/S1517-70762011000200004.

Corpos de prova de aço inoxidável ISO 5832-1 foram nitretados por 2 h em uma atmosfera de 50% vol. N2 e 50% vol. H2, a uma temperatura de 420 ºC. Antes da nitretação as amostras passaram por um processo de limpeza por sputtering, no próprio reator, com utilização de diferentes parâmetros. Utilizaram-se as seguintes técnicas de análise: microscopia ótica (MO) e microdureza Vickers. Os resultados evidenciaram que o emprego de uma etapa de limpeza por sputtering, anterior ao processamento, pode promover alterações significativas nos resultados obtidos na nitretação por plasma. Verificou-se ainda que o emprego de hidrogênio como agente de sputtering não causa nenhuma alteração nos resultados, quando comparados a um processamento realizado sem essa etapa de limpeza.

Palavras-chave : Nitretação por plasma; sputtering; aços inoxidáveis.

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