TY - JOUR T1 - Growth Evolution of AZO thin Films Deposited by Magnetron Sputtering at Room Temperature JO - Materials Research A1 - Ramos, R. A1 - Chaves, M. A1 - Martins, E. A1 - Durrant, Steven F. A1 - Rangel, E.C. A1 - Silva, T.F. da A1 - Bortoleto, J.R.R. SN - 1516-1439 UL - 10.1590/1980-5373-MR-2021-0052 VL - 24 Y1 - 2021 PB - Brasil ER -