@article{santos_terto_ramirez_santos_brito_sabino_dias_hübler_tentardini_2021,  title={Influence of zirconium addition on microstructure, hardness and oxidation resistance of tantalum nitride thin films},  volume={26},  ISSN={1517-7076},  url={https://doi.org/10.1590/S1517-707620210004.1311},  DOI={10.1590/S1517-707620210004.1311},  number={4},  journal={Matéria (Rio de Janeiro)},  publisher={Laboratório de Hidrogênio, Coppe - Universidade Federal do Rio de Janeiro, em cooperação com a Associação Brasileira do Hidrogênio, ABH2},  author={Santos, Jonh Yago Erikson and Terto, André Romão and Ramirez, Daniel Angel and Santos, Júlio César Valeriano dos and Brito, Beatriz dos Santos Silva and Sabino, Luís Fernando and Dias, Iago Lemos and Hübler, Roberto and Tentardini, Eduardo Kirinus},  year={2021},  pages={e13111} }