TY  - JOUR 
T1  - Influence of zirconium addition on microstructure, hardness and oxidation resistance of tantalum nitride thin films
JO  - Matéria (Rio de Janeiro)
A1  - Santos, Jonh Yago Erikson
A1  - Terto, André Romão
A1  - Ramirez, Daniel Angel
A1  - Santos, Júlio César Valeriano dos
A1  - Brito, Beatriz dos Santos Silva
A1  - Sabino, Luís Fernando
A1  - Dias, Iago Lemos
A1  - Hübler, Roberto
A1  - Tentardini, Eduardo Kirinus
SN  - 1517-7076
UL  - 10.1590/S1517-707620210004.1311
VL  - 26 
Y1  - 2021
PB  - Brasil 
ER  -